Tytanowy cel 99,999% cel napylania o wysokiej czystości eksperymentalny elementarny tytan
Dostosowany cel tytanowy Okrągły cel tytanowy
| produkt |
Tarcza z czystego tytanu (TI)) |
| czystość |
2N8-4N |
| gęstość |
4,51g/cm3 |
| Dominujący kolor powłoki |
Złoty Niebieski/Różowy Czerwony/czarny |
| kształtować się |
cylindryczny |
| Rozmiar ogólny |
Średnica 60/65/95/100*30/32/40/45mm |
Zwykle dostarczamy taki raport z kontroli jakości towarów,
który pokazuje skład chemiczny i właściwości fizyczne
Tytanowy cel kwadratowy, tytanowy okrągły cel, tytanowy cel o specjalnym kształcie
Czystość jest jednym z docelowych wskaźników wydajności.
Czystość materiału docelowego ma duży wpływ na wydajność folii.
Główne wymagania dotyczące wydajności dla celów:
Czystość
Czystość tarczy jest jednym z głównych wskaźników wydajności tarczy, ponieważ czystość tarczy ma duży wpływ na wydajność filmu.Jednak w rzeczywistych zastosowaniach wymagania dotyczące czystości materiału docelowego nie są takie same.Na przykład wraz z szybkim rozwojem przemysłu mikroelektronicznego Rozmiar płytki krzemowej został zwiększony z 6”, 8” do 12”, szerokość okablowania została zmniejszona z 0,5 um do 0,25 um, 0,18 um i 0,13 um. czystość docelowa wynosiła 99,995%.
Zawartość zanieczyszczeń
Głównym źródłem osadzonego filmu jest tlen i wilgoć docelowych ciał stałych i porów.Tarcze do różnych zastosowań mają różne wymagania dla różnych poziomów zanieczyszczeń.Na przykład tarcze z czystego aluminium i stopów aluminium stosowane w przemyśle półprzewodników mają specjalne wymagania dotyczące zawartości metali alkalicznych i zawartości pierwiastków promieniotwórczych.
Gęstość
W celu zmniejszenia porów docelowych ciał stałych i poprawy wydajności napylonych filmów, cele zazwyczaj muszą być gęstsze.Gęstość docelowa wpływa nie tylko na szybkość rozpylania, ale także na właściwości elektryczne i optyczne folii.Im wyższa gęstość docelowa, tym lepsza wydajność filmu.Ponadto, gdy gęstość i intensywność celu są podniesione, cel może wytrzymać naprężenie termiczne podczas rozpylania.Gęstość jest jednym z docelowych wskaźników wydajności.
Wielkość ziarna i rozkład wielkości
Zazwyczaj cel jest polikrystaliczny, a wielkość cząstek może być rzędu mikrometrów do milimetrów.W przypadku tego samego celu szybkość napylania celu drobnoziarnistego jest większa niż szybkość napylania celu gruboziarnistego, podczas gdy osadzanie napylania celu o mniejszym rozmiarze cząstek (równomierny rozkład) ma równomierny rozkład grubości (równomierny) .Dystrybucja.
Twoja wiadomość musi mieć od 20 do 3000 znaków!
